目录
MEMS和MOEMS技术专题
前言张卫平;余华;韩磊;1009-1010
微谐振陀螺仪从半球到平面的演变谷留涛;张卫平;崔峰;吴雨婷;范重阳;卢浩琳;1011-1019
石墨烯/硅基异质集成光电子器件彭文怡;严思琦;唐明;1020-1028
高速铌酸锂电光调制器研究进展陆锦东;匡作鑫;陈伟;余华;1029-1039
MOEMS气体传感技术研究进展蔡炜铭;任青颖;江彦虎;魏鸿飞;彭俊越;常春耘;薛梅;1040-1048
波浪式MEMS谐振陀螺的设计与研究卢浩琳;张卫平;谷留涛;1049-1054
MEMS加速度计在振动环境下的可靠性分析李明珠;许高斌;董娜娜;袁婷;马渊明;冯建国;1055-1061
质量块-悬挂梁热弹性阻尼的L-R理论适用性李敏;刘骏康;张加宏;李慕白;1062-1067
基于聚酰亚胺/石墨复合衬底的快速响应MEMS柔性温度传感器刘玉;时浩程;果春焕;王学文;杨卓青;1068-1074
基于MEMS技术的仿生纤毛风速传感器的设计和仿真卢建勋;周南彦;刘武;1075-1079
抗磁稳定悬浮结构的阻尼特性研究王永坤;张家祥;孙朝业;苏宇锋;1080-1086
基于最小均方和扩展卡尔曼滤波的IMU降噪方法刘宇;梁钜阳;陈燕萍;彭慧;贺光瑞;1087-1091
可集成制造的平面型电磁直线作动器研究武强;管伟昌;戴旭涵;王怀治;高宇帆;丁桂甫;1092-1098
动态综述
大气湍流对基于轨道角动量的自由空间光通信影响及解决方案综述卜洋;杨志;赵丽娟;徐志钮;1099-1108
光电器件
交叉耦合效应对M-Z调制器谐波抑制比的影响李淼淼;胡红坤;陆锦东;余华;华勇;1109-1113
基于法布里-珀罗腔的圆极化太赫兹天线设计潘武;张彬;李海珠;李永瑞;1114-1118
基于SAR-SS架构的图像传感器专用高速列级ADC设计刘宇帆;刘炯晗;程禹;曲杨;钟国强;常玉春;1119-1123
PECVD生长垂直石墨烯的场发射特性研究叶志豪;许坤;丁佩;李艳;田喜敏;段向阳;杨鹏;李倩倩;赵梦圆;杜银霄;陈雷明;曾凡光;1124-1129
激光脉冲测距专用CMOS高速高增益读出芯片设计郭晋远;袁剑辉;1130-1135
位置敏感探测器光斑脱靶误差补偿方法研究李鑫;米良;1136-1141
材料、结构及工艺
面向光背板应用的低损耗单模聚合物光波导技术研究庄语迪;石莹;汤宁峰;魏晓强;何祖源;1142-1147
导电岛微电极系统中纳米线介电组装行为研究丁海涛;司糈昊;张景然;刘潇锋;杨强;1148-1154
光电技术及应用
夜间遥感场地替代定标的微光光谱仪设计与试验分析张宇;崔皓东;张曦;高彩霞;钱永刚;马灵玲;邱实;1155-1161
星用短波红外成像仪的设计与实现张维刚;车驰;付政权;张建华;吴海游;左弟俊;1162-1167
基于PSO-SWELM的应变传感器在线温度补偿方法尚秋峰;刘峰;1168-1172
航空滤光片阵列多光谱图像条带灰度校正算法李铜哨;孙文邦;赵汉东;王志磊;白新伟;1173-1178
基于光纤传感技术的人字门结构健康监测研究与应用姜永生;1179-1183
水下激光通信系统接收机倾角及位置对接收光功率的影响研究任彦儒;宗思光;梁善永;李斌;1184-1189
基于三次样条函数的光栅传感光缆舞动波长估计郭庆瑞;尹军;李亚平;张志军;解鹏;张骞子;1190-1196
《半导体光电》2022年第43卷总目次1197-1200